Nieoczyszczone powietrze pochodzi z powietrza, przechodzi przez filtr powietrza w celu usunięcia kurzu i innych cząstek mechanicznych i dostaje się do sprężarki bezolejowej, gdzie zostaje sprężone przez dwustopniową sprężarkę do ok. 0,65 MPa (g). Przechodzi przez chłodnicę i wchodzi do jednostki wstępnego chłodzenia, aby schłodzić do 5 ~ 10 ℃. Następnie przechodzi do przełączanego oczyszczacza MS do usuwania wilgoci, CO2, węgla, wodoru. Oczyszczacz składa się z dwóch naczyń wypełnionych sitami molekularnymi. Jeden jest używany, gdy pylnik jest w trakcie regeneracji przez azot odpadowy z zimnej komory i przez ogrzewanie grzejnika.

Po oczyszczeniu niewielka jego część jest wykorzystywana jako gaz nośny do rozprężarki turbiny, druga trafia do komory chłodniczej w celu schłodzenia przez refluks (czysty tlen, czysty azot i azot odpadowy) w głównym wymienniku ciepła. Część powietrza jest pobierana ze środkowej części głównego wymiennika ciepła i trafia do turbiny rozprężnej do produkcji chłodu. Większość rozprężonego powietrza przechodzi przez dochładzacz, który jest chłodzony tlenem z górnej kolumny w celu doprowadzenia do górnej kolumny. Niewielka jego część przechodzi przez obejście bezpośrednio do rury z azotem i jest ponownie podgrzewana, aby wyjść z zimnej komory. Pozostała część powietrza jest nadal schładzana do prawie ciekłego powietrza, co kusi do obniżenia kolumny.

W dolnej kolumnie powietrze jest rozdzielane i skraplane jako ciekły azot i ciekłe powietrze. Część ciekłego azotu jest pobierana z górnej części dolnej kolumny. Ciekłe powietrze po przechłodzeniu i dławieniu jest dostarczane do środkowej części górnej kolumny w postaci refluksu.

Tlen z produktu jest pobierany z dolnej części górnej kolumny i ponownie podgrzewany przez dochładzacz powietrza rozprężonego, główną wymianę ciepła. Następnie jest dostarczany z kolumny. Azot odpadowy jest usuwany z górnej części górnej kolumny i ponownie podgrzewany w dochładzaczu i głównym wymienniku ciepła, aby wyjść z kolumny. Jego część jest wykorzystywana jako gaz regeneracyjny do oczyszczacza MS. Czysty azot jest pobierany z górnej części górnej kolumny i jest ponownie podgrzewany w ciekłym powietrzu, dochładzaczu ciekłego azotu i głównym wymienniku ciepła, który ma być odprowadzony z kolumny.

Tlen z kolumny destylacyjnej jest sprężany do klienta.